ATE

目录·ATE的所在
·ATE的作用
·核心功能构造〈Architecture〉
·未来展望




   ATE是Automatic Test Equipment的缩写, 于半导体产业意指集成电路(IC)自动测试机, 用于检测集成电路功能之完整性, 为集成电路生产制造之最后流程, 以确保集成电路生产制造之品质.



ATE的所在

在所有的电子元器件(Device)的制造工艺里面,存在着去伪存真的需要,这种需要实际上是一个试验的过程。为了实现这种过程,就需要各种试验设备,这类设备就是所谓的ATE(Automatic Test Equipment)。 这里所说的电子元器件 (DUT),当然包括IC类别,此外,还包括分立的元件,器件。ATE存在于前道工序(Front End)和后道工序(Back End)的各个环节,具体的取决于工艺(Process)设计的要求。

ATE的作用

在元器件的工艺流程中,根据工艺的需要,存在着各种需要测试的环节。目的是为了筛选残次品,防止进入下一道的工序,减少下一道工序中的冗余的制造费用。这些环节需要通过各种物理参数来把握,这些参数可以是现实物理世界中的光,电,波,力学等各种参量,但是,目前大多数常见的是电子信号的居多。ATE设计工程师们要考虑的最多的,还是电子部分的参数比如,时间,相位,电压电流,等等基本的物理参数。就是电子学所说的,信号处理。此外,比如LCD ,PDP(等离子显示器)需要对发光部分功能进行试验,那么,就要对光学相关的参量测量了。

核心功能构造〈Architecture〉

通盘而论,两大部类,〔1〕核心测试构造:承袭于传统的测试技术,检测技术,自动的实施信号处理(电子信号测量)。针对不同的DUT的测试提案不同,核心测试构造也会有所不同。〔2〕计算机控制构造:处理的速度和能力,取决于当时的计算机能力。计算机技术事实上已经变成了通用技术了,对于一套ATE来说,高指标的计算机不见得是最好的计算机,满足系统的需要,协调才是最好的标准。事实上,复杂的ATE设备的价格,相对于先进的高指标的服务器价格来说,相当于巨人根侏儒的婴儿的关系了。 总体上来说,计算机技术的作用,控制系统的协调,控制信号的注入路径,控制数据的采集和处理,等等。换句话说,计算机对系统的硬件,软件的管理是双管齐下的---既当爹,又当妈,吃喝拉撒都要管。所以,通用计算机已经不太适合了,于是,历史上便产生了FA计算机技术。但是,这还是满足不了,高速,大量的要求,于是,专家们干脆打破了计算机的传统结构,甚至,制造出了专用的CPU,专用的ChipSet。这一切不过是在反复的印证一个简单的道理,是生产的需要牵引着技术的进步。

【信号源指针】

漏电(Leakage),接触(Contact),直流(DC),交流(AC),函数(Function),模式(Pattern)

【信号通路】

PE
I/O
MX

【回读测试】

Measurement

【数模信号】

ADC, DAC

【专用计算机】

DMA
Port P/S
Chipset

【伺服构造】

Diagnostic
Calibration


未来展望

当今,ATE广泛地应用于半导体工艺流程的若干工序环节。在不远的将来,会瞄准量子机械(MEMS-Micro Electronic Mechanic System)的广大领域。激励和回读信号的种类的外延也会从以目前的电量为主,飞跃性的扩充到光学参量,流体(包括气体和液体)参量,位移参量等等能够在装置内部演算的各种参量,可以是量子化了的参数,或者就是自然变量的本身(模拟参量)。




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