SADP

SADP，self-aligned double patterning，自对准双重成像技术。

SADP技术通过沉积和刻蚀工艺在心轴（mandrel）侧壁上形成间隔物，经由额外的刻蚀步骤移除心轴，使用间隔物定义最终结构，使得特征密度增加了一倍。将SADP加倍可以得到四重图案化工艺（SAQP），使得193nm浸润式光刻可以实现10nm的分辨率。