LFLE

LFLE：LITHO-FREEZE-LITHO-ETCH 光刻-固化-光刻-刻蚀

LFLE是LELE工艺的一种变体。在LFLE中，有两道光刻步骤，只有一个蚀刻步骤。在第一步中，使用光刻将图案曝光，使用化学处理（即抗蚀剂）“冻结”或涂覆图案。图案经过光刻步骤以将密度加倍，然后进行蚀刻工艺。比LELE可节省一道刻蚀步骤。