中国科学院微电子研究所

   



   ◇◇概 况

    中国科学院微电子研究所是一所专业从事微电子领域研究与开发的国立研究机构，是中国科学院微电子技术总体和中国科学院EDA中心的依托单位。本着“惟精惟一、求是求新”的办所精神，面向国家战略需求，承担重点科技攻关与产品开发任务；通过全方位合作积极推进成果的应用开发和产业化，推动产业发展；拓展前沿技术与基础研究领域，发展交叉学科方向。微电子所致力于打造现代化的高技术研究机构，成为我国IC技术和产业领域一个技术创新基地和高素质高层次人才培养基地，为促进国家微电子技术进步和自主创新，实现产业的可持续发展做出贡献。

    微电子研究所现有在职员工435人，科研与专业技术人员232人（科学院院士2名，高级研究人员95名）。设有博士学位和硕士学位授予点，导师37名（其中博士生导师22名），在读研究生197人。

    主要研究方向：1. 硅器件及集成技术；⒉微细加工与新型纳米器件集成；3. 微波电路与化合物半导体器件；4.集成电路设计与系统应用（包括专用集成电路与系统、通讯与多媒体系统芯片、集成电路设计与应用开发）。

    本专业一级学科为电子科学与技术。作为一门交叉与综合性学科，跨专业学习具有极大的发展前景与潜力，因此微电子所欢迎并鼓励通讯与通信工程类、计算机类、自动化类、软件类、光电技术、物理与应用物理学、材料学等相关专业的同学报考。

◇◇博士学位授予权的专业
  
微电子学与固体电子学（080903）
□ 硅器件及集成技术
□ 微细加工与新型纳米器件集成
□ 微波电路与化合物半导体器件
□ 集成电路设计与系统应用（专用集成电路与系统、通讯与多媒体系统芯片、集成电路设计与应用开发）


博士生培养方式（学制三年）
1． 修完现代科学技术与马克思主义、博士学位英语及第二外国语。
2． 在导师指导下修完二至三门专业课。
3． 完成学位论文的实验研究工作并撰写论文。
4． 通过学位论文答辩。

◇◇硕士学位授予权的专业

微电子学与固体电子学（080903）
□ 硅器件及集成技术
□ 微细加工与新型纳米器件集成
□ 微波电路与化合物半导体器件
□ 集成电路设计与系统应用（专用集成电路与系统、通讯与多媒体系统芯片、集成电路设计与应用开发）


◇◇学科专业研究方向及导师简介
  
专业代码： 080903
专业名称： 微电子学与固体电子学
  
◎硅器件及集成技术
        该方向为一室研究方向，主要从事SOI CMOS、功率器件等硅器件与集成电路的设计、制造与可靠性研究。该研究室早期一直致力于硅器件与集成电路主流工艺技术研究，具有很强的硅器件、电路与工艺技术研发能力。曾先后完成“VDMOS功率器件”、“0.8微米CMOS工艺”、“亚微米SOI CMOS电路的研究”、“0.35微米集成电路关键技术”、“0.1微米级CMOSFET”等国家重点攻关项目的研究。
  
韩郑生 男 1962年出生 研究员 博士生导师。
海潮和 男 1942年出生 研究员 博士生导师。
徐秋霞 女 1942年出生 研究员 博士生导师。
杜  0寰 男 1963年出生 副研究员 硕士生导师。
  
◎微细加工与新型纳米器件集成
   00 该研究方向为三室研究方向，主要从事纳米微细加工技术（包括光学光刻掩模及分辨率增强、电子束光刻、下一代光刻及掩模、亚90nm加工工艺等）、纳米器件及集成（包括纳米电子器件模型、亚50nm CMOS新结构器件、硅基和化合物基半导体纳米器件、基于量子效应的纳米器件及其集成、基于新材料新原理的纳米器件如分子电子器件及其集成等）、新型MEMS器件及集成（包括非制冷红外焦平面阵列及集成系统、新型传感器及集成、新结构MEMS加工与集成技术等）三个方向的研究。该研究室是国内最早开展亚微米微细加工技术的研究室，在纳米微细加工技术方面一直保持着国内领先的地位和自主创新的特色。
  
马俊如 男 研究员 博士生导师 研究所顾问。
叶甜春 男 1965年出生 研究员 博士生导师。
刘  0明 女 1964年出生 研究员 博士生导师。
陈宝钦 男 1942年出生 研究员 博士生导师。
陈大鹏 男 1968年出生 研究员 博士生导师。
夏  0洋 男 1963年出生 研究员 博士生导师。
王守国 男 1963年出生 副研究员 博士生导师。
谢常青 男 1971年出生 副研究员 硕士生导师。
景玉鹏 男 1963年出生 副研究员 硕士生导师。
贾 锐 男 1974年出生 研究员 硕士生导师。
欧 毅 男 1975年出生 副研究员 硕士生导师。
  
◎微波电路与化合物半导体器件
0000该方向为四室的研究方向。主要从事化合物半导体(GaN、GaAs、InP 等)新型器件研究与开发、微波单片集成电路（MMIC）设计与开发、小型微波电路模块与系统设计开发。拥有一条配套的4英寸化合物半导体器件研发线、微波设计软件和测试系统以及先进的模块平台。其研究领域覆盖射频、微波和毫米波器件、电路、模块及系统的设计和制造。小型、高频和大功率是其研究的主攻方向。无线通信、卫星导航定位、无线传感器、光纤通信等系统是其主要应用领域。
  
吴德馨 女 1936年出生 科学院院士 博士生导师。
刘新宇 男 1973年出生 研究员 博士生导师。
阎跃鹏 男 1963年出生 研究员 博士生导师。
张海英 女 1964年出生 研究员 博士生导师。
刘训春 男 1943年出生 研究员 博士生导师。
刘 健 男 1963年出生 研究员 硕士生导师。
  
◎集成电路设计与系统应用
    00该方向包括专用集成电路与系统（二室）、通讯与多媒体系统芯片（五室）、集成电路设计与应用开发（杭州分部）等3个研究室的主要研究领域。依托中国第一个电子设计网络化公共平台～中国科学院EDA中心，拥有世界一流的电子系统与集成电路设计软件环境支持，可从事0.13um以下超大规模集成电路设计。
    00专用集成电路与系统研究室”主要从事超高速数字信号处理器（DSP）、射频电子标签（RFID）、深亚微米设计技术、新型电路设计、高性能模拟电路研究及系统应用开发。
“通讯与多媒体系统芯片研究室”主要有针对性地开展数字通信和多媒体等方面的高端芯片的研究和开发工作。包括高性能嵌入式DSP芯片、3G/B移动通信软件无线电芯片、UWB芯片、CMOS图像传感器、SOC设计方法学等方面的研究。
    00“集成电路设计与应用开发”是杭州分部的主要研究方向。杭州分部是微电子所集中力量建设的产业技术研发机构，是研究所科研成果应用与产品开发的平台。主要从事卫星导航定位芯片与系统、射频与模拟集成电路、系列MCU芯片等芯片产品与系统产品的设计开发与应用开发。
  
★ 专用集成电路与系统（二室）
周玉梅 女 1962年出生 研究员 博士生导师。
叶 青 男 1963年出生 研究员 博士生导师。
黑 勇 男 1974年出生 研究员 硕士生导师。
李力南 男 1969年出生 副研究员 硕士生导师。
罗家俊 男 1973年出生 副研究员 硕士生导师。

★ 通讯与多媒体系统芯片（五室）
陈 杰 男 1964年出生 研究员 博士生导师。
程亚奇 男 1958年出生 研究员 硕士生导师。
周 莉 女 1977年出生 副研究员 硕士生师。

★ 集成电路设计与应用开发（杭州分部）
叶甜春 男 1965年出生 研究员 博士生导师。
袁国顺 男 1966年出生 研究员 博士生导师。
陈 杰 男 1964年出生 研究员 博士生导师。
阎跃鹏 男 1963年出生 研究员 博士生导师。
吕铁良 男 1963年出生 研究员 博士生导师。
何文牧 男 1963年出生 研究员 硕士生导师。
马成炎 男 1963年出生 高级工程师 硕士生导师。
徐建华 男 1963年出生 高级工程师 硕士生导师。
冯炳军 男 1969年出生 高级工程师 硕士生导师。


◇◇博士生导师简介
  
钱 鹤 研究员，博士生导师
  
　　主要从事半导体集成技术研究，专业范围为半导体器件物理、微细加工及超大规模集成电路工艺技术。曾参加多项有关化合物半导体器件及微细加工方面国家、科学院的重大科技攻关项目，目前承担0.35微米CMOS集成电路关键技术研究项目，拟招收从事有关深亚微米集成技术方面研究生。
   
徐秋霞 研究员，博士生导师
  
　　从事半导体器件、大规模及超大规模集成电路的研究和开发。参加了多项国家重大攻关项目，并负责完成了院重大项目“1-1.5微米新工艺及新器件结构的探索性研究”，先后获中科院科技进步奖12项，发表论文33篇。专长微细加工工艺、器件结构及物理研究，学术工作有特色。在国家“八五”科技攻关中承担“高压及低压大电流VDMOS系列产品开发”，“BiCMOS IC工艺开发”等为主要负责人之一，并在“0.8微米全套工艺研究”中担任工艺负责人之一，此项目获得中科院科技进步一等奖。在国家“九五”科技攻关承担“0.1微米级CMOS器件结构和性能研究”，为课题负责人。拟令学生参加的研究工作为亚微米CMOS器件、器件物理及关键工艺技术研究为主要方向。  
   
海潮和 研究员, 博士生导师
  
　　长期以来从事集成电路工艺研究工作。对半导体器件、微细加工及多种半导体集成电路工艺技术都有深入的了解。曾参加过“六五”、“七五”、“八五”国家科技攻关，并有多项研究成果获奖。是我国自主开发的“0.8微米CMOS集成电路制造技术”的主要负责人之一。目前主要从事深亚微米MOS器件及集成电路技术的研究。“九五”期间还将开展CMOS/SIMOX SOI领域的研究。学生可参加半导体器件、集成电路设计开发及VLSI工艺研究。学生应具有半导体器件物理、微电子及有关电路及计算机方面的知识。  
   
韩郑生 研究员，博士生导师
  
　　曾在电子工业部878厂、北京燕东微电子联合公司从事集成电路工艺技术、电路设计、产品开发及生产管理工作。现在从事深亚微米集成电路的研发CMOS/SOI集成电路的研发、BICMOS集成电路的研发。参加了国家“九五”公关项目，主要负责光学STEPPER光刻机和电子束光刻机的匹配，CMOS/SOI—4KBIT SRAM电路的设计。现在负责的课题：大规模CMOS/SOI电路研制。将来的发展方向：CMOS/SOI集成电路的研究、智能功率集成的研发和光电集成电路的研发。希望招收从事半导体物理与器件、集成电路研究的研究生。  
   
陈 杰 研究员 博士生导师
  
　　研究员，博士生导师, 1988年赴日留学,1991年，1994年分别获日本国立电气通信大学电子工程系工学硕士和工学博士学位。1994年至1997年在日本鹰山公司任高级项目主管，开发成功了十几种世界领先的W-CDMA基带信号处理低功耗数模混合芯片。1998年至2001年任日本国立电气通信大学信息系统学院副教授，从事W-CDMA，小波变换，图像压缩和集成电路设计的研究。2001年4月入选中国科学院百人计划，任微电子中心研究员，博士生导师，从事移动通信，SOC设计，低功耗数模混合电路设计等方面的研究开发工作。在信息处理和低功耗数模混合集成电路设计方面发表了40多篇论文（其中8篇论文被SCI收录），合作出版《W-CDMA基带信号处理低功耗集成电路设计》一书（日文版），申请专利10多项。拟招收具有数字通信，信号处理，计算机科学，微电子专业背景的研究生。  
   
仇玉林 研究员，博士生导师
　　长期从事集成电路及相关器件与工艺研究。专长集成电路设计。在MOS存储器、联想存储器、CMOS集成电路、BiCMOS集成电路、功率集成电路及各类专用集成电路的设计研究与开发方面做出了有成效的工作。目前从事的主要研究工作包括：低电压低功耗集成电路设计研究；高性能集成电路设计研究；专用集成电路设计与开发研究；深亚微米及SDICMOS集成电路设计研究。
   
袁国顺 研究员 博士生导师
  
　　主要从事多项专用集成电路设计与开发。负责完成了多种MCU、大容量MASK ROM，及基于IP模块、门阵列、标准单元的多种专用集成电路的设计取得了突出的经济及社会效益。参加完成了“八五”公关课题“ASIC设计测试技术研究”，参加“九五”公关课题高性能、低电压低功耗电路设计研究。招收从事专用集成电路设计开发方面的研究生。  
   
周玉梅 研究员
  
　　长期在微电子技术领域中从事半导体集成电路设计及工艺技术研究，参加及承担了照相机快门电路、VDMOS功率场效应晶体管、智能功率集成电路及多种专用集成电路的研究开发工作。拟招收从事专用集成电路、智能功率集成电路设计技术研究及集成电路开发研究方面的研究生。  
   
叶甜春 研究员, 博士生导师，现任中科院微电子所副所长
  
　　1986年毕业于复旦大学、1992年去日本学习。主要从事等离子体刻蚀及薄膜淀积、干发府蚀、X射线光刻等微细加工技术和深亚微米化合物半导体器件的研制及器件物理的研究工作。完成国家公关、国防科研、科学院重大课题国家自然科学基金等多项课题并取得高水平成果，先后获得中科院进步二等奖两项，合作专利四项，发表论文四十五篇。招收研究生的专业方向为深亚微米及纳米微细加工技术及新器件研究。  
   
陈宝钦 研究员, 博士生导师
  
　　陈宝钦同志多年来从事微细加工技术的研究与开发在光学掩膜的制作、图形合成、电子束制版与暴光技术等方面做出突出成绩。并多次获得科技进步奖和个人单项奖负责和承担国家及科学院的重要项目。拟招收从事微电子学微细加工方面的研究生。  
   
刘 明 研究员 , 博士生导师
  
　　刘明博士主要从事电子束微细加工技术的研究和开发工作，在光掩模制造、缩微图形合成、移项掩模、电子束曝光和电子束光刻技术等方面作出突出贡献，并多次获科技进步奖和个人单项奖，负责和承担国家和科学院的重要研究项目。拟招收从事微电子深亚微米及纳米微细加工技术方面的研究生。
   
吴德馨 中科院院士，研究员，博士生导师

　　主要从事半导体器件与集成电路的研究，专业范围为半导体器件物理、器件与集成电路、物理新结构与新工艺研究。先后研究成功MOS 4K位、16K位和64K位动态随机存储器、CMOS专用集成电路、VDMOS场效应功率以及砷化镓异质结高电子迁移率晶体管和锗硅双极型高频晶体管等。承担新型高速异质结器件与集成电路的研究。拟招从事半导体器件与集成电路方面的研究生。
   
刘训春 研究员，博士生导师

　　曾长期从事硅双极高速集成电路的研究。研制成功当时在国内领先的肖特基TTL和ECL等电路及等平面隔离等技术。近几年来，从事CaAs器件的研究。首次报导了在高温退火时砷蒸汽对难溶金属Au/WSiN栅的影响并研究成功高跨导、亚微米Au/WSiN 栅自对准GaAs器件。圆满完成了"七五"和“八五”攻关课题研究。其中深亚微米相移光刻技术在国内首获成功。提出了双应变富铟道膺配高电子迁移率晶体管新结构以及用金属侧壁制备纳米宽X射线掩模图形的新方法并获得成功。研制成功多功能磁增强反应离子刻蚀机及感应耦合等离子体刻蚀机。所招研究生拟定研究方向为新型半导体器件及纳米加工技术。  
   
夏 洋 研究员 , 博士生导师
  
　　夏洋同志主要从事半导体集成技术研究，专业范围是半导体器件物理、微细加工及超大规模集成电路工艺技术。目前承担国家重点攻关项目“深亚微米集成电路关键技术、国家自然基金重点项目及VLSI中CU布线技术”研究，拟招收有关深亚微米集成技术方面的研究。  
   
顾文琪 研究员, 博士生导师

　　长期在电子光学领域从事圆形束和可变束电子曝光系统的研究和开发工作，在电子束曝光领域有较高的造诣，目前承担下一代光刻技术中的电子束投影光刻系统的科研公关项目的研究工作。拟招收从事微电子深亚微米及纳米微细加工技术方面的研究生。