薄膜铌酸锂调制器

具有“光学硅”之称的铌酸锂是一种集光折变效应、非线性效应、电光效应、声光效应、压电效应与热电效应等于一体的材料，可以制备集成光子回路中的光波导、光开关、分/合束器、压电调制器、热电调制器与电光调制器等器件，其中铌酸锂调制器是光子集成回路和现代通信的核心器件，已成为当前电光调制器市场的主流产品。

薄膜铌酸锂调制器继承了体材料铌酸锂良好的物理化学稳定性，具有光学窗口宽、电光系数大、高线性度等优点，并通过优化设计可有效避免调制效率低、尺寸大等缺点。薄膜铌酸锂调制器的技术核心是对光波导结构和电极结构进行匹配设计，使其光电响应匹配，提高工艺精度，损耗减少，从而实现高性能、低功耗、小尺寸、低驱动电压的新型调制器，降低光互联模块的功耗。