LELE

LELE：LITHO-ETCH- LITHO-ETCH，etch意思是干法刻蚀，lithography，litho，photo都指光刻。LELE即光刻-刻蚀-光刻-刻蚀——在同一衬底上顺序进行光刻-刻蚀-光刻-刻蚀工艺使得图形密度提高一倍。光刻1：将pattern1暴露在掩膜版上。刻蚀1：将pattern1刻蚀到掩膜版上。光刻2：曝光第二个patter,加倍图案密度。蚀刻2：将最终的双密度图案刻在硅片上。